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              產(chǎn)品與應(yīng)用 / Technology

              電子級超純水設(shè)備

              美國材料實驗學會(ASTM19831990年頒發(fā)的電子級水質(zhì)標準,已不能適應(yīng)超大規(guī)模集成電路迅速發(fā)展需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴格的水質(zhì)指標。Bolindustry膜分離事業(yè)部,專業(yè)為半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模集成電路行業(yè),提供生產(chǎn)所需純水、高純水、超純水工藝設(shè)計及成套設(shè)備。                  

              系統(tǒng)產(chǎn)水符合國家《GB/T 11446.1-2013電子級水》標準;
              采用先進的全膜法工藝,實現(xiàn)更小占地面積,及高度自動化運行;
              實現(xiàn)電阻率≥18.3MΩ的超純水制備;
              對產(chǎn)水TOC處理:≤5μg/l
              系統(tǒng)產(chǎn)水符合國家《GB/T 11446.1-2013電子級水》標準;
              主配置采用DOW陶氏膜元件、西門子EDIDOWEX拋光樹脂,以及Aquafine UVTOC裝置。

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