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              產品與應用 / Technology
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              電子級超純水設備

              美國材料實驗學會(ASTM19831990年頒發的電子級水質標準,已不能適應超大規模集成電路迅速發展需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴格的水質指標。Bolindustry膜分離事業部,專業為半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、微電子工業、大規模集成電路行業,提供生產所需純水、高純水、超純水工藝設計及成套設備。                  

              系統產水符合國家《GB/T 11446.1-2013電子級水》標準;
              采用先進的全膜法工藝,實現更小占地面積,及高度自動化運行;
              實現電阻率≥18.3MΩ的超純水制備;
              對產水TOC處理:≤5μg/l
              系統產水符合國家《GB/T 11446.1-2013電子級水》標準;
              主配置采用DOW陶氏膜元件、西門子EDIDOWEX拋光樹脂,以及Aquafine UVTOC裝置。

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